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Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / Michael R. Oliver, ed.

Colaborador(es): Tipo de material: TextoTextoSeries Springer series in materials science ; 69Editor: Berlin : Springer Verlag, c2004Descripción: x, 425 páginas : ilustracionesTipo de contenido:
  • texto
Tipo de medio:
  • no mediado
Tipo de soporte:
  • volumen
ISBN:
  • 3540431810
Tema(s): Clasificación CDD:
  • 660.2977 C517 2004
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