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Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / Michael R. Oliver, ed. - x, 425 páginas : ilustraciones - Springer series in materials science ; 69 .

Incluye bibliografía.

ISBN: 3540431810

Subjects--Topical Terms:
Esmerilado.
Semiconductores.

Dewey Class. No.: 660.2977 / C517 2004