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| 082 | 0 | 4 |
_a620.5 _bM626 2006 |
| 245 | 1 | 0 |
_aMicrofabrication and nanomanufacturing / _cedited by Mark J. Jackson. |
| 264 | 3 | 1 |
_aBoca Raton, FL : _bCRC Taylor & Francis, _c2006. |
| 300 |
_a401 páginas : _bilustraciones |
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| 336 |
_atexto _btxt _2rdacontent |
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| 337 |
_ano mediado _bn _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _bnc _2rdacarrier |
||
| 504 | _aIncluye bibliografía. | ||
| 650 | 1 | 4 |
_910888 _aCircuitos integrados _xDiseño y construcción. |
| 650 | 1 | 4 |
_918039 _aMicroelectrónica. |
| 650 | 1 | 4 |
_9132752 _aNanotecnología. |
| 650 | 1 | 4 |
_9351428 _aSistemas microelectromecánicos. _xDiseño y construcción. |
| 700 | 1 |
_9225025 _aJackson, Mark J. _eeditor |
|
| 856 |
_a_ _yTabla de contenido _uhttp://www.loc.gov/catdir/toc/fy0702/2005049275.html |
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| 942 |
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