TY  - BOOK
AU  - Oliver,Michael R.
TI  - Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials
T2  - Springer series in materials science
SN  - 3540431810
U1  - 660.2977 
PY  - 2004///
CY  - Berlin
PB  - Springer Verlag
KW  - Esmerilado
KW  - Semiconductores
N1  - Incluye bibliografía
ER  -