TY  - BOOK
AU  - Hsu,Tai-Ran
TI  - MEMS and microsystems: design and manufacture 
SN  - 0072393912
U1  - 621.381 
PY  - 2002///
CY  - Boston
PB  - McGraw-Hill
KW  - Microelectrónica
KW  - Sistemas microelectromecánicos
N1  - Incluye bibliografía (p. 427-431)
UR  - http://www.loc.gov/catdir/toc/mh021/2001044737.html
ER  -