Hsu, Tai-Ran, <br/><br/>
MEMS and microsystems :  design and manufacture / 
Tai-Ran Hsu. 
 - xii, 436 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/>Incluye bibliografía (p. 427-431) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0072393912 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectrónica.<br/>Sistemas microelectromecánicos.
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.381  / H873m 2002