Pelesko, John A, <br/><br/>
Modeling MEMS and NEMS / 
John A. Pelesko and David H. Bernstein. 
 - xxiii, 357 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/>Incluye bibliografía (p. 325-340) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>1584883065 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos--Modelos matemáticos.
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3  / P381m 2003