TY - BOOK AU - Gad-el-Hak,M. TI - The MEMS handbook T2 - Mechanical engineering handbook series SN - 0849300770 U1 - 621 PY - 2002/// CY - Boca Raton, FL PB - CRC Press KW - Ingeniería mecánica KW - Manuales N1 - Incluye bibliografía ER -