TY  - BOOK
AU  - Jackson,Mark J.
TI  - Microfabrication and nanomanufacturing
SN  - 0824724313
U1  - 620.5 
PY  - 2006///
CY  - Boca Raton, FL
PB  - CRC Taylor & Francis
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microelectrónica
KW  - Nanotecnología
KW  - Sistemas microelectromecánicos
N1  - Incluye bibliografía
UR  - http://www.loc.gov/catdir/toc/fy0702/2005049275.html
ER  -