Microfabrication and nanomanufacturing / 
edited by Mark J. Jackson. 
 - 401 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/>Incluye bibliografía. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0824724313 9780824724313 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción.<br/>Microelectrónica.<br/>Nanotecnología.<br/>Sistemas microelectromecánicos.--Diseño y construcción.
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>620.5  / M626 2006