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MEMS and microsystems : design and manufacture /

Hsu, Tai-Ran,

MEMS and microsystems : design and manufacture / Tai-Ran Hsu. - xii, 436 páginas : ilustraciones

Incluye bibliografía (p. 427-431)

ISBN: 0072393912

Subjects--Topical Terms:
Microelectrónica.
Sistemas microelectromecánicos.

Dewey Class. No.: 621.381 / H873m 2002

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